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深紫外宽禁带半导体荧光测试系统OminFluo990-DUV，基于我司20年左右的第三代半导体表征测试经验，可以有效地对宽禁带与超宽禁带半导体材料例如AlN和AlGaN等进行荧光激发

深紫外光电流测试系统DSR300-DUV，通过193的脉冲激光器或者等离子体光源+单色仪的连续193光源，对器件的光电流响应进行测量，测量速度约4KHZ，同时通过标准探测器对激光强度波动进行测量，对结果进行校正。

成人在线看片SPM300半导体晶圆应力与载流子浓度检测仪，拉曼成人看片网站作为一种非破坏性检测技术，能够高灵敏度地检测材料中的应力状态。其原理基于光与材料内化学键的相互作用，通过分析散射成人看片网站的变化，获取材料的应力信息。 与其他检测方法相比，拉曼成人看片网站具有快速、无损、空间分辨率高等优势，特别适用于半导体材料的应力检测。

半导体晶圆缺陷与少子寿命测试系统-SPM900，PL测试是一种无损的测试方法，可以快速、便捷地表征半导体材料的缺陷、杂质以及材料的发光性能。

晶圆缺陷参数检测 : 非接触测试解决方案，基于我司自主研发的激光自动聚焦、自动化显微成像、宽场荧光成像、共焦光致发光和拉曼成人看片网站等核心测试技术，联合白光干涉等其它 3D 测量技术，定制化的半导体参数测试解决方案。获得从粗糙度、图形尺寸和膜厚等几何参数，到位错、层错等缺陷，再到发光波长、寿命、载流子浓度、组分和应力等物理参数的综合测试系统。

晶圆缺陷检测：宽场荧光显微成像模组，以自动化显微镜模组为基础，针对 SiC 等化合物半导体晶圆位错、层错等缺陷检测需求。